Clean Room
| 类 别 | 非单向流洁净室 | 单向流洁净室 | 混合流洁净室 | |||
| 水平单向流 | 垂直单向流 | 洁净隧道 | 洁净管道 | 局部无尘 | ||
| 洁净度(级) | 1000~100000 | 100~1000 | 100 | 100 | 100 | 100~1000 |
| 换气次数 | 15~80 | 100~300 | 300~500 | 500~1000 | 100~300 | 100~300 |
| 风速(m/s） | 1~3 | 0.45~0.6 | 0.25~0.4 | 0.3~0.5 | 0.25~0.5 | 0.25~0.45 |
| 正压(mmwg) | 0.5~1.5 | 1.0~2.0 | 1.5~2.5 | 1.0~2.0 | 1.0~2.5 | 1.0~3.0 |
