| 类 别 | 非单向流洁净室 | 单向流洁净室 | 混合流洁净室 | |||
| 水平单向流 | 垂直单向流 | 洁净隧道 | 洁净管道 | 局部无尘 | ||
| 洁净度(级) | 1000~100000 | 100~1000 | 100 | 100 | 100 | 100~1000 |
| 换气次数 | 15~80 | 100~300 | 300~500 | 500~1000 | 100~300 | 100~300 |
| 风速(m/s） | 1~3 | 0.45~0.6 | 0.25~0.4 | 0.3~0.5 | 0.25~0.5 | 0.25~0.45 |
| 正压(mmwg) | 0.5~1.5 | 1.0~2.0 | 1.5~2.5 | 1.0~2.0 | 1.0~2.5 | 1.0~3.0 |
|
洁净度等级 Clean Class |
粒径 Particles Size（um） | ||||
| 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 5.0 | |
| 1 | 35.0 | 7.50 | 3.00 | 1.00 | NA |
| 10 | 350 | 75.0 | 30.0 | 10.0 | NA |
| 100 | NA | 750 | 300 | 100 | NA |
| 1000 | NA | NA | NA | 1000 | 7.0 |
| 10000 | NA | NA | NA | 10000 | 70.3 |
| 100000 | NA | NA | NA | 100000 | 700 |
| 分级数字（N） | 最大浓度限值（每立方米空气粒子）（小于等于所标粒径的粒子） | |||||
| 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
| ISO1 | 10 | 2 | ||||
| ISO2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
| ISO3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
| ISO4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
| ISO5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
| ISO6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
| ISO7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
| ISO8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
| ISO9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
