工业洁净室

Clean Room

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工业洁净室

   工业洁净室以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃威力对工业对象的污染,内部一般保持正压状态。
      工业洁净室中的空气经初、中、高效三级过滤。洁净室内的所有材料不产尘、不积尘、耐摩擦。所有进入洁净室内的人或物品都要进行严格控制:人要换鞋、更衣、吹淋;物要清洗、擦拭。以尽量减少外界粒子对洁净室内部的污染。
      工业洁净室适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)、LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
 

洁净室图片展示


  

  

洁净室技术参数


类  别 非单向流洁净室 单向流洁净室 混合流洁净室
水平单向流 垂直单向流 洁净隧道 洁净管道 局部无尘
洁净度(级) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
换气次数 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
风速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
正压(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0








美国联邦标准(USA Federal Standard)209E(1999年)


洁净度等级
Clean Class
粒径 Particles Size(um)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1 35.0 7.50 3.00 1.00 NA
10 350 75.0 30.0 10.0 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7.0
10000 NA NA NA 10000 70.3
100000 NA NA NA 100000 700

ISO14644-1标准空气洁净度分级


分级数字(N) 最大浓度限值(每立方米空气粒子)(小于等于所标粒径的粒子)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
ISO1 10 2        
ISO2 100 24 10 4    
ISO3 1000 237 102 35 8  
ISO4 10000 2370 1020 352 83  
ISO5 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO7       352000 83200 2930
ISO8       3520000 832000 29300
ISO9       35200000 8320000 293000

洁净室送、回风示意图



非单向流洁净室送、回风示意图

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