混合流洁净室

    混合流洁净室中的空气为将非单向流式及单向流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气；这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小，用大面积非单向流代替大面积单向流以减少初期投资和运行费用。适用于对局部区域洁净度要求较高的洁净室。混合流洁净室的一般形式为室整个洁净室为非单向流洁净室，但需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施，使该区域得到满足要求的单向流流型洁净区，以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度。

洁净室技术参数

类  别	非单向流洁净室	单向流洁净室		混合流洁净室
		水平单向流	垂直单向流	洁净隧道	洁净管道	局部无尘
洁净度(级)	1000~100000	100~1000	100	100	100	100~1000
换气次数	15~80	100~300	300~500	500~1000	100~300	100~300
风速(m/s）	1~3	0.45~0.6	0.25~0.4	0.3~0.5	0.25~0.5	0.25~0.45
正压(mmwg)	0.5~1.5	1.0~2.0	1.5~2.5	1.0~2.0	1.0~2.5	1.0~3.0