混合流洁净室
混合流洁净室中的空气为将非单向流式及单向流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气;这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小,用大面积非单向流代替大面积单向流以减少初期投资和运行费用。适用于对局部区域洁净度要求较高的洁净室。混合流洁净室的一般形式为室整个洁净室为非单向流洁净室,但需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施,使该区域得到满足要求的单向流流型洁净区,以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度。
洁净室技术参数
类 别 |
非单向流洁净室 |
单向流洁净室 |
混合流洁净室 |
水平单向流 |
垂直单向流 |
洁净隧道 |
洁净管道 |
局部无尘 |
洁净度(级) |
1000~100000 |
100~1000 |
100 |
100 |
100 |
100~1000 |
换气次数 |
15~80 |
100~300 |
300~500 |
500~1000 |
100~300 |
100~300 |
风速(m/s) |
1~3 |
0.45~0.6 |
0.25~0.4 |
0.3~0.5 |
0.25~0.5 |
0.25~0.45 |
正压(mmwg) |
0.5~1.5 |
1.0~2.0 |
1.5~2.5 |
1.0~2.0 |
1.0~2.5 |
1.0~3.0 |
洁净室送、回风示意图
洁净室送回风示意图