单向流洁净室

Clean Room

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单向流洁净室

 
    单向流洁净室:空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需求较高之环境使用,一般其无尘室等级为 Class 5以上。
    其型式可分为二种:水平单向流和垂直单向流。 
· 水平单向流是单向流洁净室中的一种。在洁净室内气流从一面墙送到另一面墙,呈现水平均流运动。
· 垂直单向流是高级别洁净室应用最广泛的一种气流流型。在洁净室内高效空气过滤器(或超高效空气过滤器)布置在顶棚或侧面,从送风口到回风口,气流流经途中的断面几乎没有什么变化,加上送风静压箱和高效过滤器的均压作用,使得全室断面上的流速比较均匀,而至少在工作区内流线单向平行,没有涡流。
 

 

单向流洁净室工程细节展示


  
FFU接线安装                                   干盘管安装       

  
静压箱内PVC排风                              工艺设备安装  

  
提升地板安装                                  提升底板内部细节 
 
  
洁净室成品检测1                              洁净室成品检测2   

  
洁净室成品1                                  洁净室成品2  
 

洁净室技术参数


类  别 非单向流洁净室 单向流洁净室 混合流洁净室
水平单向流 垂直单向流 洁净隧道 洁净管道 局部无尘
洁净度(级) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
换气次数 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
风速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
正压(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0







 

洁净室送、回风示意图



单向流侧回风示意图


单向流孔板回风示意图

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